金融界2025年3月15日音书，国度常识产权局信息表露，上海新傲芯翼科技有限公司肯求一项名为“双面抛光安设及双面抛光枢纽”的专利，公开号CN119609905A，肯求日历为2024年12月。
专利概要表露，本发明提供双面抛光安设及双面抛光枢纽，双面抛光枢纽先推行机械研磨工艺，以使器件晶圆的远隔埋氧层的一面减薄至预设厚度且器件晶圆的旯旮厚度差得志第一预设阈值；接着推行双面化学机械抛光工艺，以使键合晶圆的旯旮厚度差得志第二预设阈值；其中，用于推行双面化学机械抛光工艺的载具包括衬套和基底，衬套和基底的厚度差值为5μm至10μm且衬套的厚度为770μm至780μm。通过戒指双面化学机械抛光工艺的载具的衬套厚度以及衬套和基底厚度差，以使双面化学机械抛光工艺后的SOI晶圆的旯旮厚度差得志第二预设阈值，改善了SOI晶圆的顶层硅旯旮厚度差鸿沟，普及了SOI晶圆的旯旮厚度均匀性。
天眼查尊府表露，上海新傲芯翼科技有限公司，配置于2022年，位于上海市，是一家以从事科技引申和附近职业业为主的企业。企业注册成本80000万东谈主民币。通过天眼查大数据分析，上海新傲芯翼科技有限公司参与招投标神气7次，财产陈迹方面有商标信息9条，专利信息30条，此外企业还领有行政许可4个。
本文源自：金融界